장비 목록

※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)

임피던스 측정 기반 반도체 분석 시스템 Impedance-Based Analyzer System for Semiconductors

표준분류
다기능임피던스측정시험장비
보유기관명
부경대학교 대연캠퍼스
시설장비아이디
20251231000000298568
시설장비등록번호
NFEC-2025-12-311677
이용방법
모두 가능
활용범위
공동활용허용가능
활용대상
기관외부활용
장비문의처
051-629-7810

장비정보

제작사명 / 모델명 Solartron / ModuLab XM MTS
설치장소
부산광역시 남구 신선로 365 첨단실험실습관 1층 측정실  (층: 1층 / 호실: -) 지도보기
사용용도 교육
장비설명 1) 전기적 반응을 이용하여 반도체 및 절연체 등 전자소재의 산화, 환원 반응을 측정하고 화학적, 물리적 성질을 분석.
2) 산화, 환원 반응을 활용하여 물질의 정량, 정성 분석.
3) 물리, 화학적 반응이 전기적인 에너지로 변화하는 반응 매커니즘의 연구.
4) 반도체 재료의 유전율 및 반도체 소자의 전하밀도 특성을 측정하기 위한 장비임.
5) 고신뢰성 반도체 소재 및 반도체 소자를 제작하고 이들의 전기적 특성 및 신뢰성 특 성을 평가/분석하는 실습 교육에 활용하고자 함.
구성 및 성능 A. 특징1. 높은 전류와 전압을 위한 부스터 장착이 가능하다.(100V/3A, 50V/5A, 50V/5A, 24V/10A, 12V/20A, 10V/60A, 8V/50A, 6V/100A)2. 다양한 실험테크닉과 LSV, CV, 유전율 분석이 가능함.3. 64 MS/s 의 빠른 속도로 스캔이 가능함.4. 1 in 65,000,000의 높은 주파수 분해능을 가짐.5. Auxiliary 4채널이 포함되어 있어 보조 전압/전류 측정이 가능.6. Corrware 및 Zview, XM-Studio 소프트웨어와 데이터 호환

B. 기기 사양
1. 일반 1) 측정 모드 : 2단자 소자 또는 4단자 소자 가능 2) 샘플 연결 방식 : VHi, VLo 포함 3) 플로팅 : 가능 4) 임피던스 밴드위스(Impedance measurement bandwidth) : 1MHz(via FRA) 5) 최대 전압(open-circuit load) DC+peak AC(subject to slew rate limit) : ±8V 6) 최대 전압 해상도 : 150 μV (< 3 V), 400 μV (≥ 3 V) 7) 인가 전압 오차 범위 : ±0.2% setting ± 800μV (< 3V) / ±2mV (≥ 3V) 8) 최대 출력 전류 : ±100 mA 9) 출력 임피던스 : 50 Ω 이하 10) Maximum ADC sample rate : 1MS/s 11) Maximum waveform generator sample rate : 64MS/s 12) 최대 기록 시간 : Unlimited 13) Linear Scan Voltammetry : 기본 포함 14) DC scan rate(potentiostatic) : 25kV/s to 1μV/s 15) DC scan rate(galvanostatic) : 1kA/s to 200μA/s 16) 최소 펄스 구간 : 1μs 17) 최대 slew rate : >10V/μs 18) IR 보상 : Yes

2. 전압 측정 1) 최대 전압 : ±8V, ±100V with Booster 2) 전압 범위 : 8V, 3V, 300mV, 30mV, 3mV
3) 측정 전압 오차 범위 : 0.1% reading +0.05% range +100μV

3. 전류 측정
1) 최대 전류 : ±100mA, ±2A with Booster
2) 전류 범위 : 100mA, 30mA to 30nA in decades, 3pA with Femto Ammeter
3) 최대 해상도 : 1.5pA
4) 측정 전류 오차 범위 : 0.1% reading +0.05% range +100pA

4. 보조 전극들(4채널 : A, B, C, D)
1) 4채널 각각의 보조 전극
2) 전압 범위 : 8V, 3V to 3mV in decades
3) 전압 분해능 :1μV

5. 임피던스(FRA)
1) Maximum sample range : 40MS/s
2) 주파수 범위 : 10 μHz to 1MHz
3) 주파수 분해능 : 1 in 65,000,000
4) 주파수 에러 : ±100ppm
5) 최소 ∫ 측정 당 시간(single sine, FFT or harmonic) : 10ms
6) 파형 : Single sine, Multi-sine
7) 단일 사인 파형 : Linear / logarithmic
8) 복수 사인 파형 : All Frequencies or selected frequencies
9) 정확도(ratio) : ±0.15%, ±0.15°
10) 디지털필터 : Automatic
11) 측정모드 : Single sine, FFT, harmonic
12) DC Bias rejection : Automatic
사용 예시 -