| 제작사명 / 모델명 |
Keyence / MD-U1000C |
| 설치장소 |
부산광역시 금정구 부산대학로63번길 2 (장전동, 부산대학교) 산30 (층: 1층 / 호실: B101호)
지도보기
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| 사용용도 |
교육 |
| 장비설명 |
‣ 폴리머 및 금속 미세 패터닝, 반도체 소자의 마이크로 패터닝, 유연 기판 위 전자 소자의 탄성체 기판 패터닝에 활용
‣ 실습 및 연구에 활용하기 위하여 최대 4인치 웨이퍼까지 적용
‣ 정밀한 형상 구현 및 국지적 가열에 따른 미세구조 변화 연구 및 실습을 위해 고해상도 조사가 가능하도록 높은 분해능 요구 |
| 구성 및 성능 |
‣ 인쇄 방식: XYZ 3축 스캐닝
‣ 스테이지 영역: 100 mm×100 mm 이상, Z축 이동 30 mm 이상
‣ 레이저 파장: 근자외선 대역
‣ 레이저 출력: 3 W/30 kHz 이상
‣ 분해능: 1μm 이하
‣ 인쇄 분해능: 2μm 이하
‣ 카메라 내장(미세패턴 위치 및 인쇄내용 확인, 2D 코드 리딩)
‣ 마킹 영역: 125×125×40mm
‣ 스캔 속도: 최대 1200mm/s 이상
‣ 디지털 스캐너
‣ 3D 인쇄: Z-Map, 3D 곡면 또는 단차 대응 가능
‣ 고정밀 발진기
‣ 보호구조(헤드부): IP64
‣ I/O 입출력: 단지대 입출력/MIL 커넥터 입출력/ 컨택터 제어 입출력 |
| 사용 예시 |
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