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※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)


제작사명 / 모델명	파크시스템스 주식회사 / FX200
설치장소	부산광역시 금정구 부산대학로 63번길 (장전동) - (층: 2층 / 호실: 205호) 지도보기
사용용도	교육
장비설명	적외선 원자현미경의 자동화 본체로서 1) 최대 16개 AFM 팁의 교체, 정렬의 자동화, 2) 200mm 웨이퍼, 16개 쿠폰 샘플의 로딩 및 자동 측정이 가능한 장비입니다.
구성 및 성능	Model: FX200 IR - 100 μm XY Scanner with Dual-Servo Feedback for 200mm System for FX200IR ▪ XY scan range: 100 µm × 100 µm typical (Closed-loop) ▪ Includes FX Conductive Fast Imaging Probehand where a cantilever is attached ▪ Includes automatic SLD beam alignment using integrated motorized module ▪ Includes parabolic mirror module for IR laser beam alignment ▪ Dovetail-lock head mount for easy installation and removal of the AFM head - Automatically connects to the electronics upon installation. - Vacuum Sample Chuck for 200mm wafer sample for FX200 IR - Motorized Focus Stage for On-Axis Optics: Stage travel range: 29.5 mm - Motorized XY Stage: Stage travel range: 300 mm × 200 mm - Motorized Z Stage: Stage travel range: 22 mm - SmartScan Operating Software for FX200IR - SmartAnalysis Data Analysis Software for FX200IR - StepScan for FX200IR - Macro Optics for 200 mm Sample Overview - Vacuum Sample Chuck for 200mm wafer sample - Vacuum Multi-Sample Chuck: Accommodates up to 16 samples
사용 예시	-