| 장비설명 |
<<원리 및 특성>>
실시간 공초점 라만/PL 분광기는 레이저를 이용하여 시료의 라만 산란 및 광발광(PL) 신호를 측정하는 장비이다. 공초점 현미경을 통해 미세 영역의 결정 구조, 격자 진동, 응력 및 광학적 특성을 분석할 수 있으며, Raman/PL mapping을 통해 시료의 공간적 물성 분포를 확인할 수 있다. 또한 고온 및 고압 등 외부 환경 변화에 따른 물성 분석에도 활용할 수 있다.
<<규격>>
- Laser wavelength : 532 nm, 633 nm
- Laser power : Max. 100 mW (532 nm)
- CCD : 2000 × 256 pixels
- Spectral resolution : Min. 2.5 cm⁻¹
- Scanning area : 200 × 200 μm² (@ 40X)
- Measurement : Raman, PL, XY mapping
- Objective lens : 10X, 20X, 40X, 50X, 20X (SLWD)
<<적용(응용)분야>>
반도체, 세라믹, 박막 및 나노소재의 결정 구조, 격자 진동, 결함 및 응력 분석에 활용된다. 또한 고온 및 고압 환경에서의 구조적 변화와 상전이, 광학적 특성 변화를 분석하는 데 사용할 수 있다. |